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中北大学研制的基于ccD的高分辨率X射线探测器,采用了板的像增强器,保证了X射线的转换效率与二次电子激发;在它的输入窗表面直接蒸镀有一薄层荧光层,输出窗通过光学纤维光锥与CcD的光敏面直接耦合在一起,很好地保证了光的近无提传输与放大。探测器空间分辨率达到12线对毫米。
推广应用前景 该项目主要应用于微电子器件、集成电路、印刷电路板、微小型传感器等微机电产品和低密度复合材料等新材料内部微细结构的监控与检测以及医学影像、深空探测等领域。
X射线高分辨率探测器
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