随着能源危机与环境污染的日趋严重，开发利用太阳能成为世界各国可持续发展能源的战略决策。阳光发电是大规模经济地利用太阳能的重要手段。因此，对大阳电池的研究受到世界各国的普遍重视。由于硅基薄膜太阳电池在降低成本方面的巨大潜力，引起了的普遍重视。如何利用低成本工艺技术，获得大面积优质的晶化硅薄膜材料是当前研究的焦点之一。 

南开大学研发的“一种高速生长硅基薄膜的低成本技术”，克服了常规生长硅基薄膜方法中或生长速率慢、或衬底温度高、或离子轰击严重等缺陷，并且整合了其优点。具有改善薄膜质量、衬底温度低、离子轰击小、生长速度快(＞50A/s)、薄膜性能好、生产效率高、生产成本低等特点。

该技术已经申请发明专利。